JEOL JSM-IT800 Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки

JSM-IT800, автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки с энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (EDS) JEOL в стандартной комплектации, полностью интегрирован с новым графическим интерфейсом «SEM Center», что позволяет осуществлять непрерывный сбор данных от наблюдения до элементного анализа.
Усовершенствованная и интегрированная высокая производительность и простота использования повысили эффективность работы более чем на 50%, сделав ежедневные измерения высокопроизводительными.

ОСОБЕННОСТЬ1

ОСОБЕННОСТЬ 1
Гибридная версия объектива (HL)／Супергибридная версия объектива (SHL)

На основе комбинации электростатической линзы и линзы электромагнитного поля доступны два типа версий линз объектива. Различные конфигурации позволяют удовлетворить более широкий спектр потребностей пользователей, обеспечивая получение изображений с высоким пространственным разрешением и анализ широкого спектра образцов, от магнитных материалов до изоляторов, сохраняя при этом те же функции, что и JSM-IT800.

ОСОБЕННОСТЬ2

ОСОБЕННОСТЬ 2
Система обнаружения в JSM-IT800〈SHL〉

Образец: часть микросхемы (травление поверхности, осмиевое покрытие), Ускоряющее напряжение: 5.0 кВ (без режима BD), Режим наблюдения: SHL, Детектор: UHD, UED (режим BSE)
Изображение SE можно получить с помощью UHD; и изображение BSE можно получить с помощью UED.

Образец: Нановолокно целлюлозы (CNF), Ускоряющее напряжение: 0.2 кВ, Режим наблюдения: BD, Детектор: UHD+UED (добавление сигнала)
Образец предоставлен профессором Хироюки Яно (Исследовательский институт устойчивой гуманосферы Киотского университета, Япония)
Даже если образец представляет собой органическое волокно, наблюдение также возможно путем контроля повреждения луча на органическом волокне.

ОСОБЕННОСТЬ3

ОСОБЕННОСТЬ 3
Отображение EDS с помощью JSM-IT800

В дополнение к BED (обычный детектор BSE), также доступны для установки SBED (сцинтилляционный детектор BSE) и VBED (универсальный детектор BSE).  

SBED (сцинтилляционный детектор BSE)

Ответственность и чувствительность детектора повышаются при замене полупроводниковых элементов на сцинтиллятор в детекторе.

  • Образец: ультратонкий срез почки мыши (реверсия контраста).
    Ускоряющее напряжение: 5.0 кВ
    Скорость сканирования: 0.04 мкс/пиксель (5120×3840)

    Наблюдайте за биологическим сверхтонким
    раздел через высокоскоростное сканирование

  • Образец: тонер
    Ускоряющее напряжение: 1.5 кВ

    Получить композиционное изображение
    при низком ускоряющем напряжении

  • Образец: стальная пластина (для наблюдения дислокации)
    Ускоряющее напряжение: 25.0 кВ

    Получите изображение дислокации на высоких
    ускоряющее напряжение

VBED (универсальный детектор BSE)

Полупроводниковые детекторные элементы разделены на 5 секций. В соответствии с целью наблюдения сигналы выборочно получаются из разных зон обнаружения этих 5 секций.

Выбор угла

  • Образец: люминофор. Ускоряющее напряжение: 3.0 кВ.

В соответствии с различными углами обнаружения BSE информация о составе в основном получается посредством внутреннего обнаружения.
элементы VBED, а топографическая информация в основном получена через внешние элементы обнаружения. Кроме того, это
Примечательно, что люминофоры под алюминиевой пленкой яркие при использовании внутренних элементов детектора для наблюдения.

Трехмерные изображения могут быть реконструированы с использованием этих двухмерных изображений, полученных с 3 направлений.

Карты EDS высокого пространственного разрешения

Даже размер наночастиц Ag мал до десятков нанометров, картирование элементов также может сделать их видимыми.

Система обмена образцами

Выдвижная система, подходящая для замены крупных образцов

Оптическое получение изображений поддерживает обе системы обмена образцами

Камера для обмена образцами, обеспечивающая быструю и чистую загрузку/выгрузку образцов