СЭМ с низким вакуумом, СЭМ для естественных условий, СЭМ с влажным электролитом, СЭМ с переменным давлением, СЭМ VP-SEM, СЭМ для окружающей среды, ESEM

РЭМ с низким вакуумом (LV-SEM) предназначен для повышения давления в камере для образцов от нескольких Па до нескольких 100 Па (диапазон низкого вакуума). Некоторые приборы LVSEM могут переключать давление с 2000 Па на 3000 Па. LV-SEM также называется экологической SEM (ESEM), Natural SEM или VP-SEM (название продукта).
В LV-SEM с помощью катионов, образующихся из молекул остаточного газа в камере для образца при столкновении с падающими электронами или электронами, испускаемыми образцом, электрически отрицательный заряд поверхности образца может быть нейтрализован. Это явление позволяет наблюдать за непроводящим образцом без проводящего покрытия, избегая при этом влияния заряда. В обычном РЭМ ускоряющее напряжение должно быть снижено примерно до 1 кВ, чтобы можно было наблюдать непроводящие образцы без покрытия. Однако в LV-SEM нет необходимости снижать ускоряющее напряжение для наблюдения за непроводящими образцами. Кроме того, LV-SEM также эффективен для наблюдения за образцами с большим количеством выделяющихся газов.
Между нижней частью линзы объектива и камерой для образца имеется небольшое отверстие (отверстие), но благодаря дифференциальной системе откачки в LV-SEM часть над линзой объектива безопасно поддерживается в условиях высокого вакуума без влияния низкий вакуум в камере для образцов.
Обычный детектор вторичных электронов, прикрепленный к камере для образца, использовать нельзя, так как он может вызвать разряд из-за высокого напряжения, приложенного к сцинтиллятору. Таким образом, используется детектор обратнорассеянных электронов или специализированный детектор вторичных электронов с газовой системой усиления (ESED; детектор вторичных электронов окружающей среды или GSED; газообразный детектор вторичных электронов).
Рис. (а) иллюстрирует вакуумную вакуумную систему LV-SEM. На рис. (б) показана особенность нейтрализации электрического заряда в LV-SEM.

Рис. (а) Схема вакуумной вакуумной системы LVSEM.
(Детектор вторичных электронов* нельзя использовать в условиях низкого вакуума.)

Рис. (б) Особенности нейтрализации заряда.
Молекулы остаточного газа в камере с образцом превращаются в катионы, сталкиваясь с падающими электронами и электронами, испускаемыми образцом. Затем эти катионы притягиваются к поверхности образца отрицательным зарядом. В результате нейтрализуется зарядка поверхности образца.