SB-89010EUVC
Эксимерный УФ-очиститель (для вафель)
Особенности
6-дюймовая пластина с возможностью загрузки
Очистка поверхности пластины перед нанесением резистивного покрытия
Удаление органических веществ с поверхности вафли
Улучшение адгезии между резистом и подложкой (*в зависимости от типа резиста или проявителя, адгезия может не улучшиться).
Необходимо свести к минимуму образование озона, поскольку он образуется в вакууме.
Количество образующегося озона: 0.0012 мг/мин.
менее 0.01 ppm вокруг оборудования.
Эксимерный УФ-очиститель способен удалять загрязнения, вызванные органическими веществами на поверхности пластины, используя ультрафиолетовое излучение с длиной волны 172 нм, испускаемое эксимерами ксенона (Xe).
Удаление остатков защитного покрытия
Предварительная очистка перед процессом травления позволяет удалить остатки резиста с поверхности подложки.
Перед чисткой
Позитивный резист толщиной 400 нм
После очистки
Облучение в течение 20 минут
Пожалуйста, обратитесь к эта секция о механизме очистки образцов и гидрофильной обработки с использованием эксимерного УФ-очистителя.
Характеристики
| Облученный ультрафиолетовый свет | Длина волны 172 нм | ||
|---|---|---|---|
| Максимальный размер образца | Ш 152.4 мм × Г 154.2 мм × В 60 мм | ||
| Максимальная масса образца | 1 кг | ||
| Настройка времени облучения | От 10 секунд до 99 минут | ||
| Вакуумный насос | Мембранный сухой вакуумный насос | ||
| Требования к установке | Мощность | Однофазный, 90–110 В переменного тока, 50/60 Гц, 500 ВА | |
| Размеры и вес (кабели и вакуумные трубки в комплект не входят) |
Основной блок | 43 см (Ш) × 44 см (Г) × 31 см (В), примерно 22 кг | |
| вакуум насос |
17 см (Ш) × 33 см (Г) × 20 см (В), примерно 8 кг | ||
| Комнатная температура | 15 до 30 ℃ | ||
| Влажность | 60% (относительная влажность) или меньше (без конденсации) | ||
| Регулярная замена деталей (заменяйте их каждый раз, когда совокупное время облучения достигает 1000 часов) | УФ-лампа, вакуумметр, уплотнительное кольцо и т. д. | ||
※ Примечание: Технические характеристики гарантируются при отсутствии изменений или дополнений и могут быть изменены без предварительного уведомления.
Скачать буклет
Связанные товары
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.