Серия JBX-A9
Системы электронно-лучевой литографии
Особенности
Высокая точность и высокая производительность системы прямого письма
Создан с использованием знаменитой электронной оптики JEOL для максимальной стабильности.
Загружаемая пластина до 300 мм
Опционально доступна система FOUP
Возможность расширения на другие технологические инструменты, такие как устройства для нанесения покрытий и проявители
Низкое энергопотребление
Повышенная простота использования для всех уровней опыта.
DFB Лазер / Наноимпринт
Металинза
Линзовые массивы
Т-образные ворота
Фотонный кристалл
Характеристики
| Товар | Характеристики |
|---|---|
| Ускоряющее напряжение | 100 кВ |
| Максимальный размер поля | 1000 мкм |
| Минимальный прирост | 0.25 нм |
| Точность сшивания | ± 9 нм |
| Точность наложения | ± 9 нм |
| Минимальная ширина линии | ≦8 нм |
| Ток луча | от 50 пА до 400 нА |
| Максимальная скорость сканирования | 200 МГц |
| Разрешение позиционирования сцены | 0.15 нм |
| Автоматическая коррекция аберраций | Динамический Фокус Динамический стигматизм Коррекция искажений прогиба |
| Максимальный размер выборки | 300 Вафли 9-дюймовая маска |
| потребляемая мощность | 5 кВА |
| след | 7.4 м × 5.3 м × 2.7 м (В) |
| Базовая конфигурация |
|---|
| Базовый блок |
| Система автоматической загрузки 10 кассет |
| Программа управления с системой ЦП |
| Дополнительная лицензия на программу подготовки данных |
| Пульт дистанционного управления OL Aperture |
| Варианты |
|---|
| оптический микроскоп in-situ |
| Система автоматической загрузки пластин FOUP |
| Открытая кассета с автоматической загрузкой пластин диаметром 200 мм |
| Программа высокого напряжения 48 кВ |
| Кассеты на заказ |
| СЕКС/ГЕМ |
| Кондиционер |
| Система отмены EMI |
* Свяжитесь с местным офисом JEOL для получения более подробной информации о других моделях классов.
Скачать буклет
Система электронно-лучевой литографии серии JBX-A9
Приложения
Разработка JBX-A9, системы электронно-лучевой литографии
Галерея
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.