LazEdge
Система лазерного сканирующего электронного микроскопа

Интеграция лазерных и сканирующих электронных микроскопов позволяет получать высококачественные поперечные сечения и проводить измерения на больших площадях.

«LazEdge» — это прибор, объединяющий сканирующий электронный микроскоп JEOL с лазерной технологией, разработанной компанией Hamamatsu Photonics KK, и позволяющий проводить лазерную обработку внутри камеры образца электронного микроскопа.
Эта система позволяет беспрепятственно передавать высококачественные образцы поперечного сечения, полученные с помощью высокоскоростной обработки больших площадей, для последующих анализов, таких как наблюдение с помощью сканирующего электронного микроскопа, элементный анализ и анализ ориентации кристаллов, без воздействия внешней среды. В результате она отвечает широкому спектру аналитических потребностей, включая анализ металлических образцов, анализ батарей, требующий изоляции от воздуха, и анализ отказов полупроводников, требующий высокоскоростного получения поперечных сечений.

Особенности

Появился сканирующий электронный микроскоп с фемтосекундным лазером, способный создавать высококачественные поперечные сечения.

Точка. 1
Высококачественное поперечное сечение в камере для образцов

Благодаря интеграции системы лазерной обработки в сканирующий электронный микроскоп, LazEdge обеспечивает высокоскоростное поперечное сечение большой площади внутри камеры для образцов.
Благодаря использованию запатентованной оптической системы, обеспечивающей пространственную фазовую модуляцию лазерного луча, можно получить высококачественное поперечное сечение с уменьшенным количеством структур LIPSS.

Точка. 2
Предотвращение загрязнения в камере для образцов.

Запатентованная технология защиты LazEdge Shield предотвращает рассеивание частиц, образующихся в процессе обработки.
Детекторы, колонки и стенки камер для образцов можно содержать в чистоте, не опасаясь загрязнения.

Точка. 3
Бесперебойная работа между лазерным поперечным сечением и наблюдением с помощью сканирующего электронного микроскопа.

В камере для образцов сканирующего электронного микроскопа возможно быстрое переключение между обработкой и наблюдением. Лазерная обработка сама по себе позволяет получать поперечные сечения качества EBSD, а трехмерное изображение EBSD может быть получено путем автоматического повторения этапов обработки и измерения.

Быстрая обработка и измерение больших площадей благодаря встроенному лазеру и сканирующему электронному микроскопу.

Пример измерения металлического образца с использованием широкозонной высокоскоростной обработки.

Он охватывает обширную область за короткое время обработки. От обработки больших площадей до EBSD-картирования весь процесс завершается примерно за час. Он бесперебойно обрабатывает операции от обработки до анализа с поразительной скоростью.

Образец: пластина Mo
Время обработки: приблизительно 30 минут.

Связанные товары

Полевые растровые микроскопы (РЭМ, FE-SEM)

Подробнее