Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

Простота получения данных для всех типов образцов

Сканирующие электронные микроскопы (СЭМ) являются незаменимыми инструментами не только для исследований, но и для контроля качества и производственных площадок.
На этих сценах одни и те же процессы наблюдения должны выполняться неоднократно, и существует потребность в повышении эффективности процесса.

В JSM-IT510 недавно добавленная функция Simple SEM позволяет пользователям «оставить себе ручную повторяющуюся операцию», необходимую для наблюдения с помощью SEM, что делает наблюдение с помощью SEM более эффективным и простым.

Особенности

 

Простой СЭМ

Просто выберите целевое поле

Simple SEM поддерживает повседневную рутинную работу.

Образец: Электронное устройство
Ускоряющее напряжение: 15 кВ, (Вверху) Увеличение: ×50 (Внизу) ×1,000, Сигнал: BE

Видео, представляющее JSM-IT510

Представлены функции Simple SEM.

◆Нажатие кнопки воспроизведения запускает видео (около 2 минут).

 

Обмен образцами Navi

Руководство от обмена образцами к автоматическому наблюдению

Безопасно и просто! Обмен образцами Navi

1. Следуйте инструкциям Navi, чтобы установить образец.

 

2. Подготовьтесь к наблюдению во время эвакуации

  • Система навигации по сцене (SNS) является опцией.

  • Дополнительная выборка SNS Large Sample (SNSLS). Совместимость с SNS.

  • Камера Scope (CS) является опцией.

 

3. Начать наблюдение автоматически

Автоматическое формирование изображения после эвакуации.

 

Zeromag

Увеличение оптического изображения *1, переход к РЭМ-изображению

Функция Zeromag упрощает навигацию, обеспечивая плавный переход от оптического изображения к РЭМ.
СЭМ, оптическое изображение и графическое изображение держателя связаны между собой для получения общего представления о местах проведения анализа.

  • Система Stage Navigation System (SNS) необходима для отображения оптического изображения.

Образец: Окаменелость аммонита.
Ускоряющее напряжение: 7 кВ, Сигнал: ВЕ

 

Живой анализ / Живая карта*2

Встроенная ЭДС для определения элементного состава в режиме реального времени во время наблюдения

Live Analysis — это функция, которая отображает спектр EDS или карты элементов в режиме реального времени во время наблюдения за изображением. Эта функция может поддерживать поиск и выдавать предупреждения о целевых элементах.

  • Live Analysis является стандартом для A (анализ) / LA (низкий вакуум и анализ).

 

Образец: Окаменелость аммонита.
Ускоряющее напряжение: 15 кВ, увеличение: ×1,000

Простой анализ

Анализ EDS можно запустить в 3 клика.

Видео, представляющее JSM-IT510

Введены функции Live Map.

◆Нажатие кнопки воспроизведения запускает видео (около 2 минут).

 

Разнообразие расширенных опций

Низковакуумный гибридный детектор вторичных электронов (LHSED)*

Этот новый детектор улавливает как электронные, так и фотонные сигналы, обеспечивая изображение с высоким отношением сигнал/шум и улучшенную топографическую информацию.

  • LHSED является опцией. Также требуется LV (низкий вакуум) или LA (низкий вакуум и анализ).

Механизм ЛХСЭР

Образец: Гипс
Ускоряющее напряжение: 7 кВ, Увеличение: х10,000 XNUMX, Сигнал: LV SE

Живое 3D *

Изображения, полученные с помощью нового квадрантного BE-детектора*, могут отображаться в виде живого 3D-изображения.
3D-изображения могут четко представить форму образца даже для тех, у кого нет топографической информации.

  • Live 3D является стандартом для LV (низкий вакуум), LA (низкий вакуум и анализ). Детектор БЭ (опция) может быть установлен на БУ (Базовый блок), А (Анализ). 

Образец: Винт
Ускоряющее напряжение: 15 кВ Увеличение: х100 Сигнал: BE

Монтаж

Функция монтажа автоматизирует сбор изображений большой площади и объединение этих изображений в составное изображение.

Образец: Окаменелость аммонита.
Ускоряющее напряжение: 15 кВ, Увеличение: x150, Сигнал: BE, Количество полей: 13 x 13

  • Система Stage Navigation System (SNS) необходима для отображения оптического изображения.

Отображение глубины сигнала

Эта функция отображает глубину анализа (прибл.) в образце.
Для элементного анализа это очень полезно.

Ссылка

  • Выпуск Новостей

Характеристики

Технические данные

Серия JSM-IT510 может быть оборудована в следующих 4 конфигурациях: BU (базовый блок) / A (анализ) / LV (низкий вакуум) / LA (низкий вакуум и анализ).

БУ (базовый блок) Базовый тип для наблюдения в высоком вакууме
А (анализ) Тип анализа, ЭЦП прилагается на БУ стандартно
НВ (низкий вакуум) Низковакуумный тип, для работы в высоком и низком вакууме. КРОВАТЬ включена.
LA (низкий вакуум и анализ) Низковакуумный тип, для работы в высоком и низком вакууме, включая BED и EDS.

Спецификации СЭМ

Постановления Режим высокого вакуума
3.0 нм (30 кВ), 15.0 нм (1.0 кВ)
Режим низкого вакуума※ 1
4.0 нм (кровать 30 кВ)
Увеличение фото от ×5 до ×300,000 XNUMX 
(Определено размером фотографии 128 мм × 96 мм)
Увеличение дисплея от ×14 до ×839,724 XNUMX
(Определено размером фотографии 358 мм × 296 мм)
Электронная пушка Нить W, полностью автоматическое выравнивание пистолета
Ускоряющее напряжение 0.3 кВ до 30 кВ
давление ЛЖ
регулировка※ 1
от 10 до 650 Па
Диафрагма объектива Четыре этапа, с функцией точной настройки XY
Автоматическая функция Регулировка нити, регулировка выравнивания пистолета
Выравнивание луча
Фокус/Астигматизм/Яркость/Контрастность
Максимальный образец
размер
диаметр 200 мм × высота 75 мм
диаметр 200 мм × высота 80 мм※ 3
диаметр 32 мм × высота 90 мм※ 3
Стадия образца Большая эвцентрическая сцена
X:125 мм Y:100 мм Z:80 мм
наклон: от -10 до 90° вращение: 360°
Режим изображения Вторичное электронное изображение, REF-изображение, композиционное изображение* 1
Топографическое изображение※ 1, Тень изображения※ 1、PD изображение※ 4
Размер изображения 640 × 480 1,280 × 960
2,560 × 1,920 5,120 × 3,840
Функция фотопомощи Монтаж, Простой РЭМ, Zeromag, Live 3D
Поддержка эксплуатации
функция
Рецепт (Стандартный рецепт / Пользовательский рецепт)
Измерение (расстояние между двумя точками, расстояние между параллельными линиями, угол, диаметр и т. д.)
Обмен образцами
Функция глубины сигнала
3D измерение※ 5
OS Microsoft® Windows®10 64bit
Наблюдательный монитор 23.8-дюймовая сенсорная панель
Функции ЭЦП※ 2 См. спецификацию EDS
Управление данными Лаборатория SMILE VIEW™
Генерация отчетов
Отчет в один клик
Вывод в Майкрософт®Word
Вывод в Майкрософт®PowerPoint※ 6
Переключатель языка Японский, английский, китайский※ 7 (работает в пользовательском интерфейсе)
Вакуумная система Полностью автоматический, TMP: 1, RP: 1 или 2※ 1

Основные варианты

  • Детектор обратнорассеянных электронов (BED)*1

  • Низковакуумный детектор вторичных электронов Hybird (LHSED)

  • Низковакуумный детектор вторичных электронов (LVSED)

  • Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (ЭДС)*2

  • Волнодисперсионный рентгеновский спектрометр (WDS)

  • Дифрактограмма обратного рассеяния электронов (EBSD)

  • Загрузочная шлюзовая камера (камера предварительного вакуумирования)

  • Система сценической навигации (SNS)

  • Большая выборка системы навигации по сцене (SNSLS)

  • Объем камеры (CS)

  • Панель управления (OP2)

  • ЛаБ6Электронная пушка (ЛАБ.6)

  • Программное обеспечение для 3D-анализа (SVM)

  • Таблица (ТБЛ)

Характеристики ЭЦП

Применимо к A (анализ) / LA (низкий вакуум и анализ)
●:Стандарт ○:Опция

Стандарт
Контрольный ПК ОС:Майкрософт®Windows®10 64bit※ 8
Язык японский/английский/китайский※ 7
Детектор Тип твердотельного накопителя Выберите из
список детекторов
Спектральный анализ Качественный анализ (идентификация пиков, автоматический качественный анализ)
Идентификатор визуального пика
Безстандартный количественный анализ (метод ZAF)
Стандартный количественный анализ (метод ZAF)※ 9
Метод PHI-RHO-Z (PRZ): метод количественной коррекции
QBase (база данных качественного анализа)
Линейный анализ Линейный анализ (параллельное и произвольное направление)
Элементарная карта Элементарная карта (карта с несколькими цветами, монохромная, многоцветное наложение)
Максимальное разрешение в пикселях: 4,096 × 3,072
Спектр всплывающих окон в реальном времени
Карта деконволюции (карта чистого подсчета, количественная карта)
Карта чистого подсчета в реальном времени
Фильтр реального времени
Отображение профиля линии
Отслеживание зонда
Анализ воспроизведения (спектральная карта с временным разрешением)
Серийный анализ Спектральный анализ, Линейный анализ, Карта элементов
Комплексный анализ уже проанализированных данных (качественный и количественный анализ)
Монтаж Автоматический монтаж (изображение SEM, карта Elemental)
Последовательное картирование элементов для нескольких областей
Программное обеспечение для анализа частиц ・Анализ частиц (автоматический/ручной) и анализ EDS,
 Классификация данных анализа частиц,
 Графическое отображение статистически обработанных данных анализа частиц,
 Серийный анализ частиц большой площади
・Библиотека GSR (Остатки выстрела)
・Библиотека анализа металлических элементов
・Библиотека анализа чистоты автомобильных деталей

 



Генерация отчетов Лаборатория SMILE VIEW™
Вывод как Microsoft®Ворд, Майкрософт®Файл PowerPoint※ 6
SEM-интеграция Интегрированное управление данными наблюдения и анализа
Указание позиции анализа на рабочем экране SEM (прямой анализ в пользовательском интерфейсе для SEM)
Графическое отображение позиций анализа
Функция помощи Справочное руководство
Двойной детектор Анализ с двумя детекторами※ 10
Автономная функция Лицензионное ПО для автономного анализа данных
  • Стандарт в JSM-IT510LV/LA.

  • Стандарт в JSM-IT510A/LA.

  • Требуется дополнительный держатель.

  • Требуется LHSED (опция).

  • Требуется SVM (опция).

  • Должен быть установлен Microsoft® Office.

  • Китайский не обязателен.

  • Для JSM-IT510A/LA программное обеспечение EDS устанавливается на тот же ПК, что и управляющее программное обеспечение SEM.

  • Требуется дополнительный блок компенсации тока зонда (опция). Автоматический контроль тока зонда возможен только при подключении ЭДС к компьютеру микроскопа.

  • Требуются два извещателя EDS с активным датчиком одинакового размера. Существует ограничение на перемещение столика в зависимости от установочных портов.

Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
Microsoft, Windows, PowerPoint и Microsoft Office являются зарегистрированными товарными знаками корпорации Microsoft в США и других странах.
Microsoft Word — это название продукта корпорации Microsoft.

Скачать буклет

Приложения

Приложение JSM-IT510

Галерея

Металл

Кристаллическое наблюдение стали

Для кристаллических материалов, таких как металлы, может быть отображен контраст (канальный контраст), вызванный разницей в ориентации кристаллов.

Образец: Сечение из высокопрочной стали, Ускоряющее напряжение: 5 кВ,
 Увеличение: x500, Сигнал: ВЕ

ПОЛИРОВКА ПОПЕРЕЧНОГО СЕЧЕНИЯ™ (СР) предназначена для фрезерования поперечного сечения или поверхности путем облучения образца широким пучком ионов аргона.
По сравнению с механическим фрезерованием, CP может легко производить тонкое поперечное сечение без искажений.

  • Продано отдельно.

Наблюдение за поверхностью перелома

Наблюдение поверхности разрушения с помощью СЭМ широко используется для изучения причин разрушения и роста трещины.

Полупроводниковое

Сопротивляйтесь наблюдению за шаблонами

В производстве полупроводников очень важно управление качеством резиста с помощью СЭМ.
Процесс может быть подтвержден путем визуализации поперечного сечения рисунка резиста. Также возможно измерение ширины линии.

Поперечное сечение рисунка резиста (наклон до 35°)

Ускоряющее напряжение: 8 кВ, Увеличение: x30,000 XNUMX, Сигнал: SE

Шаблон резиста, написанный на кремниевой пластине

Ускоряющее напряжение: 10 кВ, Увеличение: x3,000 XNUMX, Сигнал: SE

Ускоряющее напряжение: 10 кВ, Увеличение: x20,000 XNUMX, Сигнал: SE

Проверка печатной платы (PCB)

СЭМ является эффективным инструментом управления качеством печатных плат.
Условия низкого вакуума позволяют непосредственно наблюдать за печатной платой без предварительной обработки.

 
Чип-конденсатор на печатной плате

Ускоряющее напряжение: 15 кВ, Увеличение: x45, Сигнал: Смешанный сигнал
(Обратнорассеянный электрон LV: вторичный электрон LV = 3:7)

Программное обеспечение для анализа изображений* позволяет автоматически измерять ширину линии.

  • Вариант. MultiImageTool (производство SYSTEM IN FRONTIER INC.)

Мягкий материал/полимер

JSM-IT510 в условиях низкого вакуума подходит для прямого наблюдения за непроводящими образцами, такими как суперабсорбирующий полимер и маска.

Супервпитывающий полимер

Ускоряющее напряжение: 10 кВ, Увеличение: х1,000, Сигнал: LV SE

Нетканая маска

Ускоряющее напряжение: 10 кВ, Увеличение: х50, Сигнал: LV BE

Ускоряющее напряжение: 10 кВ, Увеличение: х1,000, Сигнал: LV BE

Уретановая маска

Ускоряющее напряжение: 10 кВ, Увеличение: х50, Сигнал: LV BE

Одновременно можно получить SE-изображение и BE-изображение.
Изображение SE предоставляет информацию о форме.
Изображение BE показывает яркие области, указывающие на состав с более высоким атомным номером для этой области.

Биология

Нормальная форма биологических образцов, таких как клетки или микроорганизмы, может быть подтверждена после их предварительной обработки методом химической фиксации или сушки вымораживанием для сохранения их формы.

Подробнее

Основы электронной микроскопии

Простое объяснение механизмов и
применения продуктов JEOL

Закрыть
Уведомление

Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?

Нет

Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.

Контакты

JEOL предлагает широкий ряд услуг по техническому обслуживанию и ремонту, чтобы наши клиенты могли спокойно пользоваться оборудованием.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!