【СНЯТО С ПРОИЗВОДСТВА】JIB-4000 Система фрезерования и визуализации с фокусированным ионным пучком

JIB-4000 представляет собой систему обработки и наблюдения сфокусированного ионного пучка (однолучевая система FIB) с высокопроизводительной ионной колонкой. Пучок ускоренных ионов галлия фокусируется и направляется на образец, чтобы обеспечить возможность наблюдения SIM-изображения поверхности образца, измельчения и осаждения таких материалов, как углерод или вольфрам. Также возможно изготовить образцы поперечного сечения, чтобы наблюдать внутреннюю часть образца или образец тонкой пленки для визуализации ПЭМ. По сравнению с изображением SEM изображение SIM показывает заметный контраст каналов из-за различий в ориентации кристаллов. Он особенно подходит для оценки поперечных сечений многослойных покрытий и металлических конструкций.

Особенности

Колонка FIB высокой мощности

JIB-4000 включает в себя колонку High-Power FIB с максимальным током ионного пучка 60 нА, что обеспечивает быстрое фрезерование поперечного сечения. Высокоскоростное фрезерование с большим током особенно полезно для обработки больших площадей, а поперечные сечения для наблюдения могут быть легко изготовлены даже при размерах более 100 мкм.

Удобный FIB

JIB-4000 предлагает превосходную работоспособность колонки High-Power FIB. Концепция дизайна прибора заключается в удобстве использования, а внешний вид и графический интерфейс предназначены для создания простой в использовании системы FIB. Это инструмент, с которым могут легко работать даже пользователи, не являющиеся экспертами FIB. Компактный размер прибора, один из самых маленьких в отрасли, что позволяет устанавливать его в еще большем количестве мест.

Двойной этап

Стандартная конфигурация JIB-4000 включает моторный столик для объемных проб, предназначенный для работы с объемными пробами. Также можно добавить столик гониометра с боковым входом, который позволяет напрямую вставлять чип TEM в держатель. С моторным столиком для объемных образцов можно наблюдать всю поверхность объемного образца размером 20 мм x 20 мм. Обмен образцами может быть выполнен быстро через шлюзовую камеру. Столик гониометра с боковым входом такой же, как и в системах JEOL TEM, поэтому держатель чипа можно использовать с системами JEOL TEM, что позволяет легко переключаться между фрезерованием FIB и наблюдениями TEM.

Богатство вложений

Для поддержки операций JIB-4000 доступно множество приспособлений, в том числе система навигации САПР, полезная для приложений модификации схем, и система векторного сканирования, которая эффективна для фрезерования специальных форм. При добавлении соответствующих насадок к JIB-4000 система может поддерживать приложения, выходящие за рамки подготовки образцов.

Характеристики

FIB

Дополнительные вложения

• Система закачки газа 2 (ИБ-02100ГИС2)

• Картридж для осаждения углерода (IB-52110CDC2)

• Вольфрамовый картридж для напыления (IB-52120WDC2)

• Картридж для нанесения платины (IB-52130WDC2)

• Ступень гониометра с боковым входом (IB-01040SEG)

• Детектор тока зонда (IB-04010PCD)

• Панель управления (IB-05010OP)

• Система сценической навигации (IB-01200SNS)

• Наконечник FIB (EM-02210)

• Держатель объемных образцов FIB (EM-02220)

• Держатель объемных образцов FIB 1 (EM-02560FBSH1)

• Держатель объемных образцов FIB 2 (EM-02570FBSH2)

• Адаптер держателя образца FE-SEM (EM-02580FSHA)

• Фиксатор челнока (EM-02280)

• Система захвата атмосферы (EM-02230)